Ngày nay, công nghệ tạo ẩm phun sương bằng sóng siêu âm được coi là công nghệ hiện đại, đơn giản, hiệu quả và an toàn nhất. Thay vì dùng nhiệt tạo hơi nước, người ta sử dụng sóng điện từ dao động ở tần số rất cao (sóng siêu âm), các phân tử nước dưới tác động của sóng siêu âm không thể dao động theo cùng một tần số nên tự tách ra khỏi bề mặt nước dưới dạng những hạt nhỏ li ti đường kính chỉ 1µm hòa nhập nhanh chóng vào dòng không khí giống như sương mù. Độ ẩm tạo ra bởi sóng siêu âm là độ ẩm tức thời và có thể điều chỉnh bởi cường độ sóng siêu âm. Hơn nữa, hạt nước tạo bởi sóng siêu âm vô cùng nhỏ nên chỉ một ít nước cũng có thể tạo một lượng sương mù rất lớn. Sương mù với diện tích bề mặt vô cùng lớn có khả năng hấp thụ nhiệt và các hạt bụi bay lơ lửng trong không khí làm cho môi trường trở nên mát mẻ và trong lành.

Một ưu thế khác nữa của công nghệ tạo ẩm bằng sóng siêu âm là không gây tiếng ồn, cấu tạo đơn giản, rất dễ dàng sử dụng và làm sạch, không có các bộ phận đặc biệt phải bảo dưỡng hay thay thế như đèn hồng ngoại hay hộp hơi.Tuy nhiên do cơ chế tạo sương từ nước lạnh chưa qua xử lý nhiệt như hơi nước nên nếu nước trong bình bị nhiễm bẩn, vi khuẩn cũng sẽ hòa cùng với sương mù vào không khí. Để sử dụng an toàn và tối ưu máy tạo ẩm phun sương là bạn nên làm sạch và thay nước trong bình thường xuyên sau 2 đến 3 ngày sử dụng và lưu ý luôn luôn sử dụng nước sạch hay tốt nhất là nước tinh khiết.